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石英片磁控濺射鍍膜的特點一、優點1、靶材粒子能量高(比熱蒸發高出1個數量級),所制備膜層更致密,與石英片結合力更高:2、一般備有輔助離子源,可以用來清洗石英片,清洗效果好;3、易于制備熔點高的材料;4、制備合金膜層,可以.........